摘要:

ZMPS-SSG01-300氣氛退火設備

此設備同時具備了真空閃蒸和氣氛處理兩種功能,用戶只需要進行簡單的部件更換就可以實現功能切換。


設備參數

序號項目參數
1設備尺寸1000×800×1400mm
2設備重量160kg
3腔體材質SUS310S不銹鋼
4腔體內部空間尺寸340×340×20mm
5適用基材尺寸300×300mm以內
6工作電源220V
7機械泵電壓及功率380V/2.2kW(單獨供電)
8真空泵抽速60m3/h
9工藝艙室采用氟膠圈密封,針閥手動調節泄氣速度;溫度最高300℃,控溫精度±1℃,溫度均勻性±5%。
10真空測量真空計測量范圍:1.0×10-1~1.0×105Pa
11工藝技術指標抽空時間:10s到10Pa
12真空參數極限真空≤8×10-1Pa

基板規格

序號項目標準公差
1尺寸300×300mm以內各邊±1mm
2材料玻璃/
3厚度1~3.2mm±0.2mm
4最大允許彎曲對角線方向≤0.5mm/m/
5邊緣C角/
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