摘要:

300mm涂布成膜一體設備

此設備用于在玻璃基板(基板尺寸≤300×300mm)表面涂布工藝薄膜,隨后在減壓下進行結晶從而分離溶液中溶質和溶劑。


設備參數

序號項目參數
1設備尺寸4500×1200×2500mm
2設備重量2000kg
3涂布有效寬度300mm向下兼容
4基材載片平臺含真空吸附功能,孔徑1mm
5液體粘度0.7-1000cp
6涂層厚度(干厚)20-2000nm(根據溶劑而定)
7狹縫調節范圍0-20mm
8涂布頭SUS630材質,內部表面粗糙度Ra≤0.025μm
9涂布頭唇口直線度刀口/工作面直線度≤±1um/0.1m
10涂布頭內槽容量不高于5ml
11驅動方式線電機/氣浮平臺(Y軸)、研磨級絲杠模組+伺服電機(Z軸)
12注液泵上料泵速度0.5-80ul/s
13注液速度精度優于0.1μL/s 
14Y軸移載部件速度Max500mm/s 
15平臺平面度精度優于±2.5μm
16Y軸移載部件重復定位精度±0.005mm 
17Z軸升降部件速度范圍0-50mm/s 
18Z軸升降部件精度定位精度2μm,重復定位精度2μm 
19自動初效清洗廢液槽,并含有廢液自動回收系統
20防護罩部件框架鈑金噴漆,機臺頂部配備FFU保持機內涂布部潔凈
21機械泵抽速60m3/h 

基板規格

序號項目標準公差
1尺寸300×300mm以內各邊±1mm
2材料玻璃/
3厚度1~3.2mm±0.2mm
4最大允許彎曲對角線方向≤0.5mm/m/
5邊緣C角/
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