摘要：

ZMPS-PSC04-200桌面式涂布設備

此設備用于在多種基片（基片尺寸≤200×200mm）表面涂布工藝薄膜制備。

設備參數

序號項目參數
1設備尺寸1100×880×800mm
2設備重量300kg
3涂布有效寬度200mm向下兼容
4基材載片平臺規格含真空吸附功能，孔徑1mm
5液體粘度0.7-1000cp
6涂層厚度（干厚）20-2000nm（根據溶劑而定）
7狹縫調節范圍0-20mm
8涂布頭材質SUS630材質，內部表面粗糙度Ra≤0.025μm
9涂布頭唇口直線度刀口/工作面直線度≤±1um/0.1m
10涂布頭內槽容量不高于5ml
11驅動方式直線電機/氣浮平臺（Y軸）、研磨級絲杠模組+伺服電機（Z軸）
12注液泵上料泵速度0.5-80ul/s
13注液速度精度優于0.1μL/s
14Y軸移載部件速度Max200mm/s
15平臺平面度精度優于±2.5μm
16Y軸移載部件重復定位精度±0.005mm
17Z軸升降部件速度范圍0-50mm/s 
18Z軸升降部件精度定位精度2μm，重復定位精度2μm
19風刀部件（選配）均勻有效寬度200mm，均勻性優于±5%，角度/高度可調，最大載荷0.8MPa 
20自動初效清洗前后雙廢液槽，并含有廢液自動回收系統
21防護罩部件框架鈑金噴漆

基板規格

序號項目標準公差
1尺寸200mm×200mm（可向下兼容）各邊±1mm
2材料玻璃/
3厚度≤3.2mm±0.2mm
4最大允許彎曲對角線方向≤0.5mm/m/
5邊緣C角/
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