摘要：

ZMPS-VCM02-200桌面式真空成膜設備

此設備是用于在減壓下進行結晶從而分離溶液中溶質和溶劑。

設備參數

序號項目參數
1設備尺寸686×4265×750mm（不含泵）
2設備重量150kg（不含泵）
3真空泵電壓：380V、功率2.2kW
4真空泵抽速60m3/h
5腔體材質SUS304不銹鋼
6機架材質鋁合金型材
7極限真空度＜1Pa
8工藝抽速大氣壓狀態10s達到10Pa
9破真空速度10Pa至大氣壓時間≤5s
10腔體漏率≤1×10-10 Pa·m3/s（設備破真空后8小時，空載抽空壓力為基準）
11真空計測量范圍1.0×10-1～1.0×105Pa（設備破真空后8小時，空載抽空壓力為基準）

基板規格

序號項目標準公差
1尺寸200mm×200mm（可向下兼容）各邊±1mm
2材料玻璃/
3厚度≤3.2mm±0.2mm
4最大允許彎曲對角線方向≤0.5mm/m/
5邊緣C角/
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