摘要：

ZMPS-VCM01-300真空成膜設備

此設備用于在減壓下進行結晶從而分離溶液中溶質和溶劑的設備。

設備參數

序號項目參數
1設備尺寸1100×1000×1200mm
2設備重量200kg
3真空泵電壓：380V，功率：2.2kW
4真空泵抽速60m3/h
5腔體材質采用6061鋁合金
6工藝真空度1Pa
7極限真空度≤8.0×10-1Pa
8工藝抽速大氣壓狀態10s達到10Pa
9真空參數（設備破真空后8小時，空載抽空壓力為基準）腔體漏率≤1×10-9Pa·m3/s
真空計測量范圍：1.0×10-1～1.0×105Pa

基板規格

序號項目標準公差
1尺寸300×300mm以內各邊±1mm
2材料玻璃/
3厚度1～3.2mm±0.2mm
4最大允許彎曲對角線方向≤0.5mm/m/
5邊緣C角/
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